半导体外延炉的PM是什么意思

在半导体芯片中，PM（Preventive Maintenance）是设备维护管理的重要组成部分，尤其是在半导体外延炉等主要设备方面具有主体作用：
1.界定与目地
PM（Preventive Maintenance）是指通过定期维护日常保养机器设备，防止潜在故障或功能失效，保证生产流水线高效运行。其主要目标是增加设备使用年限、降低突发故障、提高生产效率。
2.在半导体外延炉中的运用
定期维护：对加热装置、机械泵、气体管路等核心部件开展规律性检验，保证环境温度精度和气体纯净度。
清理和维护：清除炉腔内腔堆积物、拆换密封环等易耗配件，防止污染物质危害外延层品质。
主要参数校正：按时校正温度感应器、气压表等仪表盘，保证工艺指标准确性。
3.实施周期和标准
依据机器设备使用次数和生产商提议，PM一般分为日常安全巡检、一季度维护保养和年度维修三个等级。比如，外延性炉的PM方案将包括每月的常用清洗和每年一次的构件拆换。
大力实施PM，半导体企业能明显减少因机械故障所导致的生产制造终断风险性，确保外延性加工工艺的稳定性和商品合格率。