半导体外延炉的PM代表什么意思？

半导体外延炉的PM（预防性维修）是保证系统长期性高效运行的重要环节，关键有如下维护保养具体内容：
半导体外延炉的PM分成日常维护保养、维护保养和深度维护保养三个等级，依据机器设备使用次数和生产商强烈推荐周期时间实行。
清理：清除设施表层尘土，擦洗控制面板和机械部件，避免油渍或颗粒物残余。
主要参数查验：确定环境温度、气体压力等关键参数合乎工艺标准。
维护保养
深层清洁：使用专用清洁液清理室，清除堆积物并注意内腔刮痕。
构件查验：校正流量计、液位传感器，清理过滤装置，保证汽体系统软件密闭性。
深层维护保养
构件拆换：拆换室部件、空气压缩机油等关键部件。
功能测试：运行测试片认证离子注入速率和均匀度，保证表层质量合格。